Прототип экстремально-ультрафиолетовой (EUV) литографической машины, аналогичной оборудованию нидерландской компании ASML, был создан в лаборатории города Шэньчжэнь, сообщает Reuters. Этот аппарат способен генерировать EUV-излучение — ключевую технологию для производства передовых полупроводниковых чипов.